¡¡¡¡¡¡¡¡¶øÐ¾Æ¬ÖÆ×÷£¬ÏòÀ´¶¼ÊǸ߿Ƽ¼µÄ´úÃû´Ê¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¾ÍËãÊÇÅ·ÃÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡×î¸ßˮƽҲ¾ÍÊÇ10nm¼¶£¬7nm¼¶»¹ÔÚÊÔÑé½×¶Î£¬¸ù±¾¾ÍÎÞ·¨Á¿²ú¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔóÏÖÔÚÒªpsÏµÍ³ÍÆÑÝ7nm¼¶µÄоƬ£¬¾ÍÊÇÒ»¸ö¸ªµ×³éнµÄ¼Æ²ß¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÈÃÄãÃÇÎæ£¬¼ÌÐøÎæ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÀÃÔÚÊÖÀï¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ò»µ©»ª¹úÓÐ7nm¼¶Ð¾Æ¬ÎÊÊÀ£¬»áÊÇʲôÑùÒ»¸öЧ¹û£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡ÏëÏë°É£¡¸ßͨÆì½¢¼¶Ð¾Æ¬æçÁú835¾ÍÊÇ10nm¼¶µÄ£¬ÏÖÔÚ×îºÃµÄÒÆ¶¯Ð¾Æ¬¡£Ò»µ©ÌìÔóÄóö7nm¼¶Ð¾Æ¬£¬ÄǶÔÓÚ¸ßͨ¡¢Æ»¹û¡¢Ó¢Ìضû¡¢Áª·¢¿ÆµÈµÈоƬ¾ÞÍ·¶¼ÊÇÒ»¸ö³ÁÖØµÄ´ò»÷£¬Í¬Ê±Ò²»áÈÃÅ·ÃÀµÄ¼¼Êõ·âËø±äΪһ¸öЦ»°¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡7nmÖÆ³Ì¹¤ÒÕÓÖÊÇʲôÑùÒ»¸ö¸ÅÄ
¡¡¡¡¡¡¡¡¼òµ¥µã˵¿ÉÒÔʹָ¼×¸Ç´óСµÄоƬ£¬ÈÝÄÉÁ½°Ù¶àÒÚ¸ö¾§Ìå¹Ü¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ö¸¼×¸Ç´óСvsÁ½°Ù¶àÒÚ£¡
¡¡¡¡¡¡¡¡ÏëÏë¶¼¿Ö²À¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡²»ÓÃÏ룬¹ú¼Ò¶¼»á¶¦Á¦Ö§³Ö£¬ÒòΪ»ª¹úµÄÐ¾Æ¬ÖÆÔì¼¼Êõ»¹±£³ÖÔÚÁ¿²ú90nm£¬Ñз¢65nmµÄµÍ¶ËˮƽÉÏ¡£ÖÁÓÚÕþ¸®»á²»»á»³Òɼ¼ÊõµÄÀ´Ô´ÎÊÌ⣬ÒÔÌìÔóÏÖÔÚµÄÉí·Ý¸ù±¾¾Í²»»áÈ¥¿¼ÂÇ£¬»³ÒÉÓÖÄÜÔõôÑù£¿»¹ÄܰÑÌìÔó¸ø×¥ÆðÀ´¿½Îʲ»³É£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡»¹ÊÇÄǾ仰£¬Ö»Òª±ðÈ˲»ÖªµÀpsϵͳµÄ´æÔÚ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔó¾Í²»Å¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡µ±È»£¬ÍÆÑÝ7nm¼¶Ð¾Æ¬£¬Ò²²»ÊÇû´ú¼Û¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡»áÀË·ÑpsϵͳµÄÒ»´ÎÍÆÑÝ»ú»á¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Éý¼¶µ½6¼¶£¬psϵͳ¿ÉÒÔÍÆÑݵÄлúеÔìÎï±äΪÁË4¸ö£¬³ýÈ¥ÒѾÓÃÀ´ÍÆÑݰ˽䡢Æû³µµÄÁ½´Î£¬ÏÖÔÚÓÖÍÆÑÝÁË7nm¼¶Ð¾Æ¬£¬ÄÇÊ£ÓàµÄÍÆÑÝ»ú»á¾Í±äΪÁËÒ»¸ö¡£¶ø×îºóµÄÍÆÑÝ»ú»á£¬ÌìÔóÒ²ÓÐÁË´òË㣬ÕâÑùÒ»À´£¬ÒªÏëÔÙÍÆÑÝеĻúеÔìÎÄǾÍÖ»ÄܵÈpsϵͳÉý¼¶µ½7¼¶¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°µÎ£¬¿ªÊ¼ÍÆÑÝ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Ëæ×ŵç×ÓÌáʾÉùÏìÆð£¬psϵͳȫÁ¦ÔËתÁËÆðÀ´¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ð¾Æ¬ÖÆÔì¿ÉÊÇÒ»¸ö·Ç³£¸´ÔÓµÄϵͳ¹¤³Ì£¬Óɼ¯³Éµç·¾¹ýÉè¼Æ¡¢ÖÆÔì¡¢·â×°µÈһϵÁвÙ×÷ºóÐγɡ£µ¥µ¥¹è¾§Ô²µÄÖÆÔì¾ÍºÜ¸´ÔÓ£¬¸ü±ð˵¹â¿Ì»úµÄÍÆÑÝÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ËùÒÔ£¬Ò²²»ÊÇһʱ°ë»áÄܹ»ÍÆÑÝÍê³ÉµÄ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔó¸ÕÏëÌÉÏÂÐÝÏ¢Ò»»á£¬¿ÍÌüÖоʹ«À´ÁËÒ»ÕóÐú»©Éù¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔóÖåÁËÖåü£¬´ò¿ªÁËÎÔÊÒÃÅ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ì컳¶÷ÏÈÉú¡¢ÌÆÐãÐãŮʿ£¬ÎÒÃÇÊǹú¼Ò°²È«²¿Ãŵģ¬ÇëÎÊÄãÃDZ»½Ùºó£¬µ½µ×·¢ÉúÁËʲô£¿·¿¼äÀïµÄÁ½¸ö°ô×ÓÊÇÔõôËÀµÄ£¿»¹ÇëÄãÅäºÏÎÒÃǵĵ÷²é£¬°ÑÖªµÀµÄÒ»Çж¼¸æËßÎÒÃÇ£¬ÒþÂ÷ÊÇÒª¸º·¨ÂÉÔðÈεġ£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÎÒÃDz»ÖªµÀ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°¶Ô£¬ÎÒÃDz»ÖªµÀ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ì컳¶÷ÏÈÉú¡¢ÌÆÐãÐãŮʿ£¬ÄãÃÇÊǰÑÎÒÃǵ±Éµ×ÓÂð£¿ÄãÃǵ±Ê±¿É¾ÍÔÚ·¿¼äÄÚ£¬Ôõô»á²»ÖªµÀÁ½¸ö°ô×ÓÊÇÔõôËÀµÄ£¿ÄѵÀ·ÇÒªÈÃÎÒÃǰÑÄãÃÇ´ø»ØÈ¥ÎÊ»°£¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Ìýµ½ÕâÀÌìÔó±ãûÁ˼ÌÐøÌýÏÂÈ¥µÄÐÄÇ飬ºÚ×ÅÁ³×ß³öÁË·¿¼ä¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ð¡Ôó£¬ËûÃÇ¡¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°°Ö£¬ÄãºÍÂèÏȽø·¿¼äÈ¥£¬ÕâÀïÓÐÎÒ¡£¡±ÌìÔó´ò¶ÏÁËÌ컳¶÷µÄ»°£¬±Á×ÅÁ³µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ºÃ£¡¡±Ì컳¶÷¡¢ÌÆÐãÐãÖªµÀÁôÏÂÒ²°ï²»ÉÏæ£¬Ö»Äܵ£ÓǵؽøÈëÁËÎÔÊÒÖС£
¡¡¡¡¡¡¡¡ßÇ£¡Ëæ×ÅÎÔÊÒÃŹرգ¬ÌìÔóµÄÁ³É«Á¢Ê±Òõ³ÁÁËÏÂÀ´¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÀäÀä¿´ÏòÁËÁÖ·É¡£
µÚ279Õ¡¡ÕâЩ¹»Âð£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ìì¶£¬ÎÒÃÇÀ´Ò²ÊÇÀýÐй«Ê£¬Ã»ÓжñÒâµÄ¡£¡±Õ¶ÜÒ»¼ûÆø·Õ½ôÕÅÁËÆðÀ´£¬²»ÓÉ´òÔ²³¡µÀ£¬ÐÄÖÐÔòÔÚ°µ°µ½Ð¿à¡°ÁÖ¶Ó£¬ÄãÕâÊǺαأ¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¿ÉÊÇÌìÔó¡¢Áַɶ¼Ã»ÓдîÀíÕ¶ܵÄÒâ˼£¬ÒÀ¾ÉÏ໥ÀäÀä¶ÔÊÓ×Å¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¹ùÃ÷ºÆÒ²ºÚ×ÅÁ³Õ¾ÔÚÒ»±ß£¬±»ÌìÔóÇ¿ÐÐͻΧÀ뿪£¬ÐÄÖÐÄܲ»±ï×Å»ð£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡Ê±¼äÒ»·ÖÒ»Ãë¹ýÈ¥ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ë¸øÄãµÄȨÀûÀ´ÕâÀïÎÊ»°£¿¡±ÌìÔ󿪿ÚÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÕâÊÇÎÒ¡¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄãµÄÉÏ˾֪µÀÂð£¿ÄãÕæÊǺôóµÄµ¨×Ó£¬ÐŲ»ÐÅÎÒÒ»¾ä»°¾Í¿ÉÒÔÈÃÄã¹öµ°£¬ÏÖÔÚÇë¹ö³öÎÒ¼Ò¡£¡±²»µÈÁַɰѻ°ËµÍ꣬ÌìÔó¾ÍºÇ³âµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°¸øÄãÊ®ÃëÖÓʱ¼ä£¬·ñÔòÎҾʹòµç»°ÁË¡£¡±¸ù±¾²»¸øÁÖ·É¡¢Õ¶ܡ¢¹ùÃ÷ºÆ·´Ó¦µÄʱ¼ä£¬ÌìÔó¾ÍÖ±½ÓÌͳöÁ˵绰¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ìì¶´òÈÅÁË¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Õ¶ÜÁ³É«ÃÍÒ»±ä£¬¸ÏæÀÁËÀÁÖ·É¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÁÖ¶Ó£¬ÏÈ×ß°É£¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¹ùÃ÷ºÆÒ²¿ª¿ÚȰµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°´òÈÅÁË¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÁÖ·ÉÍÂÁË¿ÚÆø£¬×ªÉí´øÍ·³¯Íâ×ßÁ˳öÈ¥¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Å飡¿´×ÅÁÖ·É¡¢Õ¶ܡ¢¹ùÃ÷ºÆÈýÈËÀ뿪£¬ÌìÔóÐÄÖÐÒѾÓÐÁ˾ö¶¨¡£²»¹ÜÁַɳöÓÚʲôÑùµÄÄ¿µÄ£¬ËûÃǶ¼²»ÔÙÊʺÏÓÃÀ´±£»¤ÌìÔóÓëÌìÔóµÄ¼ÒÈË£¬ºÃÔÚÌìÔóÒ²ÓÐÁ˸üºÃµÄÑ¡Ôñ£¬ÊØ»¤ÐÍ»úÆ÷ÈË£¬»¹ÓбÈËü¸üÊʺϱ£»¤È˵ÄÂð£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ð¡Ôó£¬Õþ¸®µÄÈËÔõôÀ´ÁË£¿²»»áÓÐʲôʰɣ¿¡±ÌÆÐãÐã×ßÁ˳öÀ´µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Êǰ¡£¡ÎÒÃÇÊDz»ÊÇÁ¬ÀÛÄãÁË£¿¡±Ì컳¶÷Ò²µ£ÐĵÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°°Ö¡¢Â裬ÄãÃÇ·ÅÐĺÃÁË£¬¶¼ÊÇÎó»á¡£¡±ÌìÔóÁ¬Ã¦»»ÉÏÁËЦÁ³¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Îó»á£¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌÆÐãÐãÒ»Á³²»ÐÅ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ð¡Ôó£¬Äã¿É±ðºýŪÎÒÃÇ£¬¿´ËûÃǵÄÑù×Ó£¬ÄÇÀïÏñÊÇÎó»á°¡£¿ÄãûÈËÌýÈ˼Ò˵£¬ÒªÖ±½Ó´øÎÒÃÇ»ØÈ¥ÎÊ»°¡£¡±Ì컳¶÷Ò²³öÉù·´ÎʵÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°°Ö¡¢Â裬Îҿɲ»ÊÇÆÄãÃÇ£¬ÄãÃÇÒ²ÖªµÀÎÒÓиöÍüÄê´ó¸çÊǽ«¾ü£¬ÎÒÄÜÓÐʲôʰ¡£¡²»¹ýÊÇÄÚ²¿È˸ãЩС¶¯×÷£¬ÎÒÏÖÔÚ¾ÍÈ¥ÕÒÎÒ´ó¸ç¡£¡±ÎªÁ˰²Î¿Ì컳¶÷¡¢ÌÆÐãÐ㣬ÌìÔ󲻵ò»Ì§³öÅí°®µ³¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄÇÄã¸Ï¿ìÈ¥£¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌÆÐãÐã´ß´ÙµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°¶Ô£¬¿ìÈ¥£¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Ì컳¶÷Ò²¸½ºÍµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ºÃµÄ£¬ÎÒÏÖÔÚ¾ÍÈ¥¡£¡±ÌìÔóËÉÁË¿ÚÆø£¬¿ìËÙµØÀ뿪Á˹«Ô¢¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°»³¶÷£¬Äã˵СÔó»áÓÐÊÂÂ𣿡±ÌÆÐãÐ㻹ÊÇÓе㲻·ÅÐÄ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ó¦¸Ã²»»áÓÐʰɣ¿¡±Ì컳¶÷Ò»Á³µÄ²»È·¶¨¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄãÕâÀ϶«Î÷£¬µ½µ×ÊÇÓÐÊ»¹ÊÇûÊ£¿¡±ÆøµÃÌÆÐãÐã²»ÓÉÆþÁËÌ컳¶÷һϡ£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ì컳¶÷Á¢Âí¸Ä¿ÚÁË¡°Ð¡Ôó¿ÉÊÇÍòÄÜ»úÆ÷È˹«Ë¾µÄ¶Ê³¤£¬È«Çò×îºÃµÄ»úÆ÷È˹«Ë¾µÄÕÆ¶æÈË£¬Ã»ÌýСÔó˵ÂËû»¹Òª½¨Ò»¼ÒÆû³µ³§£¬ÄÜÓÐʲôÊÂÇ飿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Õâ²Å¶ÔÂ¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌÆÐãÐãÂúÒâµØµãÁ˵ãÍ·¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÁÖ¶Ó£¬Äã½ñÌìÌ«³å¶¯ÁË¡£¡±Ò»³ö¹«Ô¢Â¥£¬Õ¶ܾÍÒ¡Í·µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄѵÀÎÒ×öµÄ²»¶ÔÂð£¿ËûÃÇÃ÷Ã÷ÔÚ˵»Ñ£¬ÖÐǹµÄ°ô×Óµ½ÊÇûʲô£¬¿ÉÊÇÁíÍâÁ½¸ö°ô×ÓÈ´ÊÇËÀÔÚÒøÕëÏ£¬ËûÃÇÒþÂ÷ÁËʲô£¿Èç¹ûÎÒ²»ÖªµÀÒ²¾Í°ÕÁË£¬¼ÈÈ»ÎÒÖªµÀÁË£¬ÄÇÎÒ¾ÍÒªµ÷²éÇå³þ£¬¾ö²»ÄܳöÏÖ¹ú¼Ò¿ØÖƲ»Á˵ÄÁ¦Á¿¡£¡±ÁÖ·ÉÑÛÖÐÉÁ¹ýÁËһ˿¼á¶¨£¬ºÁ²»ÓÌÒɵصÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Í·£¬ÄãÕâÑù×öºÜÈÝÒ×Åö±ÚµÄ¡£¡±Õ¶ÜÒ»Á³ÎÞÄΡ£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÓÐʱºòÁַɾÍÊÇÕâôµÄÖ⣬²»¶®µÃתÍä¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡·ñÔòÔçÉýÖ°ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Åö±ÚÓÖÈçºÎ£¿ÎÒÖ»ÊÇ×öÁËÎÒ×Ô¼º¸Ã×öµÄ¡£¡±Áַɲ»ÒÔΪÒâµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÎÒÃÇÒ»¶¨»á±»µ÷»ØÈ¥µÄ¡£¡±Õ¶Ü̾ÁË¿ÚÆø¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ôõô¿ÉÄÜ£¿Ã»ÓÐÎÒÃǵı£»¤£¬ËûÄܰ²ÐÄ˯¾õ£¿¡±¹ùÃ÷ºÆÒ»Á³²»ÐÅ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ºÇºÇ£¬Èç¹ûÊÇÄ㣬Äã»á°Ñ²»°²ÒòËØÁôÔÚ×Ô¼ºÉí±ß£¿¡±Õ¶ܷ´ÎʵÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Õâ²»ÊÇËûËùÄܾö¶¨µÄ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¹ùÃ÷ºÆ×ìÓ²µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ºÇºÇ£¬ËûÄÜÈÃÎÒÃÇÀ´£¬¾ÍÓа취ÈÃÎÒÃÇ×ߵġ£¡±¹ùÃ÷ºÆµÍ³ÁµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÕâÑù»ÒÁïÁïµÄ»ØÈ¥£¬¼òÖ±¾ÍÊÇÔã¸â͸ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¿ÉÊǼÌÐøÁôÔÚÕâÀҲ²»ÊÇÒ»¼þºÃʰɣ¿
¡¡¡¡¡¡¡¡Íû×ÅÁÖ·É£¬¹ùÃ÷ºÆÐÄÖÐÓÖÏëµ½¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°²»ÐУ¬ÎÒÒª¸øÖ÷Èλ㱨һÏ¡£¡±µÍͷ˼¿¼µÄÁÖ·É£¬Í»È»Ì§Í·µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡°¥£¬»¹ÊÇû·ÅÆú°¡£¡¹ùÃ÷ºÆÕÅÁËÕÅ×죬ȴʲô¶¼Ã»Ëµ³ö¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌáÐÑÁÖ·É£¬ÄãÕâÑù×ö²»»áÓнá¹ûµÄ£¬ÒòΪÌìÔóÏÖÔÚ¶Ô»ª¹úÀ´ËµºÜÖØÒª£¬²»½öÕÆ¹Ü×ÅÈ«ÊÀ½ç×îÏȽøµÄ»úÆ÷È˹«Ë¾£¬»¹ÓÐÒ»¼ÒÖá³Ð³§Í»ÆÆÁËÅ·ÃÀµÄ¼¼Êõ·âËø¡£¾ÍËãÊÇÔÚ¹ú¼ÒÁìµ¼ÈËÄÇ£¬ÌìÔóÒ²ÊǹÒÁ˺ŵģ¬ÎªÁËÕâµãСÊ£¬¹ú¼Ò»áÕÒÌìÔóµÄÂé·³£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡Áַɲ»Ã÷°×ÕâЩÂð£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡Ôõô¿ÉÄÜ£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡ÁַɾÍÊÇÕâÑùµÄÈË£¬Ã÷֪ɽÓл¢Æ«Ïò»¢É½ÐС£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ê¼ÖÕ×ö×Ô¼º¾õµÃ¶ÔµÄÊ£¬²»ÎªÍâÁ¦Ëù¶¯¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÕâÑùµÄÐÔ¸ñûÉÙµÃ×ïÈË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡
¡¡¡¡¡¡¡¡²»Ìá·¸ÖâµÄÁÖ·É£¬ÌìÔóÒÑÀ´µ½ÁËÊÐί¼ÒÊôÔº¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ö»ÊǶÁËÏÂÁ³£¬ÌìÔó¾Í±»ÃÅÎÀ·ÅÁ˽øÈ¥¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ð¡Ì죬Äã¿ÉÓжÎʱ¼äûÀ´ÁË¡£¡±°ë·ÉÏ£¬ÌìÔó¾ÍÓö¼ûÁËÌá×ŲËÀºµÄÈîÈôË®¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ºÙºÙ£¬Õâ²»ÊÇÀ´ÁËÂ¡±ÌìÔó½Ó¹ýÁËÈîÈôË®µÄ²ËÀº£¬²»ºÃÒâ˼µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡È·Êµ£¬ÓÖÊÇÆû³µ³§¡¢ÓÖÊÇ´óÏá¢ÓÖÊÇÌì¿ÕÖ®³Ç£¬ÌìÔóæµÄÔÎͷתÏò£¬À´ÕâÀïµÄ´ÎÊý×ÔȻҲ¾ÍÉÙÁË¡£Òª²»ÊÇ·¢ÉúÁËÌ컳¶÷¡¢ÌÆÐãÐã±»½ÙµÄÊ£¬ÌìÔó¹À¼Æ»¹ÒªµÈÒ»¶Îʱ¼ä²Å»á¹ýÀ´µÄ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Á½ÈËÒ»±ßÁÄ£¬Ò»±ß½øÈëÁËÒ»ºÅÔº¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÎÒ»¹ÒÔΪÄãС×Óʧ×ÙÁË¡£¡±ÕýÔÚÔºÖÐÖÖ»¨µÄÅí°®µ³£¬Ò»¼ûµ½ÌìÔó¾ÍЦÂîµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°°Ö¡¢Ð¡Ì죬ÄãÃÇÁÄ£¬ÎÒÈ¥×ö·¹¡£¡±ÈîÈôË®Äùý²ËÀº£¬ËµµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ìý˵Ä㸸ĸ±»È˰ó¼ÜÁË£¿Ã»Ê²Ã´Ê°ɣ¿¡±Åí°®µ³¹ØÐĵÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°àÅ£¬°ô×Ӹɵģ¬ÒѾ°ÚƽÁË¡£¡±ÌìÔóµãÍ·µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄǾͺã¡¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Åí°®µ³µãÁ˵ãÍ·¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÎÒÏë°ÑÁÖ·ÉËûÃǶ¼µ÷×ß¡£¡±ÌìÔóÖ±½Ó¿ª¿ÚµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÁÖ·ÉÈÇÄã²»¸ßÐËÁË£¿Ëû»¹ÊÇÕâÑù£¬ÆäʵËûÕâÈ˲»»µµÄ¡¡¡±Åí°®µ³±¾À´»¹ÏëΪÁÖ·É˵¼¸¾ä»°£¬¿ÉÊÇ¿´ÌìÔóµÄ±íÇ飬Åí°®µ³¾ÍÖªµÀÁËÌìÔóÒѾ϶¨Á˾öÐÄ£¬Ö»ÄÜÎÞÄεÀ¡°ÄǺðɣ¡ÎÒ»á¸øÉÏÃæ´òÕкô£¬°ÑÁַɵ÷×ߵġ£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°²»£¬ÎÒÊÇ˵ȫ²¿µ÷×ߣ¬ÎÒ²»ÐèÒª¹ú¼Ò±£»¤ÁË¡£¡±ÌìÔóÇ¿µ÷µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄãÈ·¶¨£¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Åí°®µ³Ò»Á³ÄýÖØ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Äã˵²»Òª¹ú¼Ò±£»¤¾Í²»Òª¹ú¼Ò±£»¤£¿ÄãÒÔΪÄã˰¡£¿¹ú¼Ò¾ö¶¨±£»¤Ä㣬ÓÐʱºò²»ÊÇÄãËùÄܾö¶¨µÄ£¬ÄãÖ»Äܱ»¶¯½ÓÊÜ¡£ÔÙ˵£¬ÒÔÈ˹¤ÖÇÄܵÄÓÕ»óÁ¦£¬¹ú¼Ò²»¿ÉÄÜ·ÅÈÎÌìÔ󲻹ܣ¬ÕâÒѾ²»µ¥µ¥ÊÇÌìÔó×Ô¼ºµÄÊÂÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÎÒÏëÔٴκ͹ú¼Ò×÷±Ê½»Òס£¡±ÌìÔóûÓÐÕýÃæ»Ø´ð£¬¶øÊÇͻȻ¿ª¿ÚµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°Ê²Ã´½»Ò×£¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Åí°®µ³Óеã¸ú²»ÉÏÌìÔóµÄÄÔ»ØÂ·ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Õⶼʲô¸úʲô£¿ÄѵÀÌìÔó»¹ÄÜÄóöæÇÃÀÈ˹¤ÖÇÄܵĶ«Î÷£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°¹è¾§Ô²µÄÖÆÔ죬°üÀ¨300mm¡¢200mm¡¢150mm£¬»¹ÓÐ7nm¼¶¹â¿Ì»úµÄÖÆÔ칤ÒÕ£¬ÕâЩ¹»Â𣿡±ÌìÔóÒ»±ß°ï×ÅÅí°®µ³ÐÞÀí»¨¶ä£¬Ò»±ßÒ»Á³Æ½¾²µØËµµÀ¡£
µÚ280Õ¡¡ÌìÔóµÄËã¼Æ
¡¡¡¡¡¡¡¡ps£ºÇó϶©ÔÄ£¬¶©ÔĵôµÄ¶¼¿ìû¶¯Á¦ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡***********
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÕæµÄ£¿¡±Å¾£¡Åí°®µ³ÊÖÖеÄË®ºøµôÔÚÁ˵ØÉÏ£¬²»½öÈ÷ÁËÒ»µØ£¬Á¬Åí°®µ³µÄЬ×Ó¡¢¿ãÍÈÉÏͬÑùÈ÷Á˲»ÉÙ£¬¿ÉÊÇÅí°®µ³È´Ã»Óйܣ¬Ö»ÊÇׯׯµØ¶¢×ÅÌìÔó¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Åí°®µ³ÎªÊ²Ã´»áÓÐÕâô´óµÄ·´Ó¦£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡È«ÊÇÒòΪÐÄÖеÄÍ´¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÏëÒ»Ïë°É£¡
¡¡¡¡¡¡¡¡ãóãó´ó¹ú£¬ÎåǧÄêµÄÀúÊ·£¬È´Á¬Ò»¿éÏñÑùµÄоƬ¶¼Ôì²»³ö¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÕâÊǺεȱ¯°§£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡¶øÖÆÔìоƬµÄ»ù´¡ÊÇʲô£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡ÕýÊǾ§Ô²Óë¹â¿Ì»ú¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡´òÒ»¸ö±È·½£¬Èç¹ûÓôî»ýľÀ´ÐÎÈÝоƬµÄÖÆÔ죬ÄǾ§Ô²¾ÍÊÇÒ»¿é¿é»ýľ£¬¶ø¹â¿Ì»ú¾ÍÊÇ´î»ýľµÄÊÖ¡£ÖÁÓÚ»ýľ±»´î³ÉʲôÑù×Ó£¬ÄǾÍÊÇÒª¿´Ð¾Æ¬µÄÉè¼ÆÕßÄÜÉè¼Æ³öʲôÑù×ÓµÄÒ»¿éоƬÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¶ø´ó¼ÒƽʱÌýµ½µÄ18´ç¾§Ô²³§¡¢12´ç¾§Ô²³§¡¢8´ç¾§Ô²³§£¬Æäʵ¾ÍÊÇ·Ö±ðÖ¸300mm¡¢200mm¡¢150mmµÄ¾§Ô²¡£ÔÙ˵ͨË׵㣬µçÄÔÖеÄcpuÆäʵ¾ÍÊÇÒ»¿éµñ¿ÌºÃµÄ¾§Ô²£¬´ó¶àÊý¶¼ÊÇ12´çµÄ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÖÁÓÚ¾§Ô²ÎªÊ²Ã´»áԽŪԽС£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡µÚÒ»£¬ÊÇΪÁ˽ÚÊ¡µç·°åµÄ¿Õ¼ä£¬Ö»ÓÐÿ¸öÔª¼þ¶¼ºÜ΢С²Å»áÓдó¹æÄ£ºÍ³¬´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·¡£Èç¹û¼¯³Éµç·×öµÄºÜ´ó£¬ÆäÖеÄÿ¸öÔª¼þ¶¼Ïñ·ÖÁ¢Ôª¼þÄÇÑù´ó£¬¾Í²»¿ÉÄÜÓÐÏÖÔÚµÄÊÖ»ú£¬Ò»¸ö10gµÄuÅÌÒ²»áÏñÆû³µÄÇô´ó¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡µÚ¶þ£¬ÊÇΪÁ˽ÚÊ¡ºÄµç£¬Ôª¼þԽС£¬ËùÐèµÄ¹¦ºÄÒ²»áС¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡µÚÈý£¬ÊÇΪÁ˽ÚʡԲÄÁÏÏûºÄ¡¢Ìá¸ßÉú²úЧÂÊ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¶ø»ª¹úµÄ¾§Ô²Éú²ú×´¿öÊÇʲôÑùµÄ£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡¿´¸öÊý¾Ý¾ÍÖªµÀÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÙÁ¹úµÄshin¡etsuºÍsumco¡¢º«¹úµÄlgsiltron¡¢µÂ¹úµÄsiltronicºÍÍåÍåµÄ»·Çò¾§Ô²£¬Õ⼸¼Ò¾§Ô²³§ÉÌËùÕ¼µÄ·Ý¶î±ã¸ß´ï98£¥£¬ÕâÊÇÒ»¸ö¸ß¶È¢¶ÏµÄÊг¡£¬ÓÈÆäÊǵ±Öд󲿷ÖÓÉÎÒÃǵÄÁÚ¾ÓÙÁ¹úºÍ°ô×ÓÕÆ¿Ø¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡»ª¹úÖ»ÄÜ·ÖÈóÊ£ÓàµÄ2£¥£¨ÓëÈ«ÇòµÄÆäËü¹ú¼Ò£©¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÏëÏë¾ÍÖªµÀÓжà²Ò¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÎªÊ²Ã´»áÈç´ËµÄ²Ò£¿
¡¡¡¡¡¡¡¡µÚÒ»£¬Éú²ú¹è¾§Ô²µÄ¹ý³Ì¾ÍÏñÊÇ×öÃÞ»¨ÌÇ£¬Ò»±ßÐýתһ±ß³ÉÐÍ¡£ÔÚÀ¾§µÄ¹ý³ÌÖУ¬ÐýתÀÆðµÄËٶȺÍζȵĿØÖƶ¼»áÓ°Ïìµ½¾§Ô²µÄÆ·ÖÊ¡£Èç´Ë¸ßµÄ¼¼ÊõÄѶȣ¬¶Ô»ù´¡±È½Ï±¡ÈõµÄ»ª¹ú°ëµ¼ÌåÀ´Ëµ£¬ÊÇÒ»¸ö¾Þ´óµÄÌôÕ½¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡µÚ¶þ£¬×¨Àû±£»¤¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡°ëµ¼Ìå¹èµÄÖÆÔ칤ÒÕ£¬´ÓÉÏÊÀ¼ÍÎåÊ®Äê´ú³öÏÖÒÔÀ´£¬Ò»Ö±¶¼ÊÇÙÁ¡¢°ô¡¢µÂ¡¢ÃÀµÈ¹ú¼ÒÔÚÉÏÃæ·¢Õ¹£¬ËûÃÇÔÚ¹è¾§Æ¬ÖÆÔìÉÏÃæ»ýÀÛÁ˷ḻµÄ¾ÑéºÍרÀû£¬ÕâÒ²²»ÊÇ»ª¹úÄÜÇáÒ×Í»ÆÆµÄ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¹â¿Ì»ú¾Í¸ü²»ÓÃ˵ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¹è¾§Ô²Ôõô±ä³É¼¯³Éµç·£¬¿É¾ÍÈ«¿¿¹â¿Ì»úÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¼òµ¥µã˵£¬¹â¿Ì»úµÄ×÷ÓþÍÊÇÔÚ¾§Ô²Éϵñ¿Ì³öÒ»¸ö¸öÏß·£¬¶ø10nm¼¶¹â¿Ì»úµÄÒâ˼¾ÍÊÇ£¬Ïß×îС¿ÉÒÔ×öµ½10nmµÄ³Ì¶È¡£ÄÇô1nmÓÖÊÇʲôÑùµÄÒ»¸ö¸ÅÄÓÃÖ¸¼×¸Çºñ¶È×ö±È½Ï£¬Ò²¾ÍÊÇ˵ÊÔ×ŰÑһƬָ¼×µÄ²àÃæÇгÉ10ÍòÌõÏߣ¬Ã¿ÌõÏß¾ÍÔ¼µÈͬÓÚ1ÄÉÃ×£¬ÓÉ´Ë¿ÉÒÔÏëÏñµÃµ½1ÄÉÃ×ÊǺεȵÄ΢СÁ˰ɣ¿
¡¡¡¡¡¡¡¡Óë¾§Ô²Éú²úÒ»Ñù£¬¹â¿Ì»úͬÑù±»¹úÍâ³§ÉÌ¢¶Ï¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡×î³öÃûµÄ±ãÊǺÉÀ¼µÄasml£¬ÙÁ¹úµÄnikonºÍcanonÁË£¬¶ø»ª¹úÖ»ÄÜÔڵͶ˹â¿Ì»úµÄ±ßÔµÉÏ´òת¡£Èç¹û°´ÕÕÕý³£µÄÇé¿ö£¬Ã»Óиö¼¸Ê®ÄêµÄʱ¼ä£¬¸ù±¾¾Í²»ÒªÏëÄÜ×·¸ÏÉÏ£¬ÖÁÓÚ·´³¬£¬ÄǾÍÊǸöÃÀÃΡ£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°·Ç³£Õæ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔóЦ×ŵãÁ˵ãÍ·£¬µÀ¡°²¢ÇÒÊÇÈ«ÐµĹ¤ÒÕ£¬ÍêÈ«²»Óõ£ÐÄרÀûÎÊÌâ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡¿ªÍæÐ¦£¬Èç¹û²»ÊÇΪÁËÈ«ÐµĹ¤ÒÕ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡ÌìÔó¸ù±¾¾Í²»»áÀË·ÑpsϵͳµÄÍÆÑÝ»ú»á£¬¶øÊÇÖ±½ÓÈÃÓñ»Êȥ͵ÁË¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÄãÓÐʲôÌõ¼þ£¿¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡ÉîºôÁ˼¸¿ÚÆø£¬Åí°®µ³¼ñÆðÁËË®ºøÎʵÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°µÚÒ»£¬¾ÍÊÇÈÃÁÖ·ÉËûÃÇÈ«²¿×ßÈË¡£¡±ÌìÔóÔٴοª¿ÚµÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡°ÕâµãûÎÊÌâ¡£¡±
¡¡¡¡¡¡¡¡Åí°®µ³Õâ´ÎÏ붼ûÏë¾ÍµãÍ·µÀ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Õâ¿ÉÊÇ×îеľ§Ô²¡¢¹â¿Ì»úÉú²ú¼¼Êõ°¡£¡±ÈÆðÈÃÁַɵÈÈ˹öµ°À´Ëµ¸ù±¾¾Í²»Óÿ¼ÂÇ£¬Ò²¸ù±¾¾Í²»ÊÇÒ»¸ö¼¶±ðµÄ£¬Ò²¸ù±¾²»ÄÜËã×÷ÊÇÒ»¸öÌõ¼þ¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡Ò»¾ä»°µÄÊ
СÌáʾ£º°´ »Ø³µ [Enter] ¼ü ·µ»ØÊéÄ¿£¬°´ ¡û ¼ü ·µ»ØÉÏÒ»Ò³£¬ °´ ¡ú ¼ü ½øÈëÏÂÒ»Ò³¡£
ÔÞÒ»ÏÂ
Ìí¼ÓÊéÇ©¼ÓÈëÊé¼Ü