¡¶ÖØÉú2008:ÎÒÔĶÁÄÜ׬Ǯ¡·

ÏÂÔØ±¾Êé

Ìí¼ÓÊéÇ©

ÖØÉú2008:ÎÒÔĶÁÄÜ׬Ǯ- µÚ327²¿·Ö


°´¼üÅÌÉÏ·½Ïò¼ü ¡û »ò ¡ú ¿É¿ìËÙÉÏÏ·­Ò³£¬°´¼üÅÌÉ쵀 Enter ¼ü¿É»Øµ½±¾ÊéĿ¼ҳ£¬°´¼üÅÌÉÏ·½Ïò¼ü ¡ü ¿É»Øµ½±¾Ò³¶¥²¿£¡
ËÊä¡¢Á¦Ñ§µÈѧ¿Æ£¬Ò²ÐíÔÚϵͳ¿´À´£¬¶¼ÊôÓÚ»úеһÀࣻ
¡¡¡¡¶ø¼ÆËã»ú³ÆºÅ£¬»¹°üÀ¨ÁËÐÅÏ¢¡£
¡¡¡¡ãåÑôÒ»¹²ÓÐ2¸öÖм¶Ñ§Õ߳ɾͳƺţ¬3¸ö³õ¼¶Ñ§Õ߳ɾͳƺš£
¡¡¡¡ÕâÀïµÄÒ»¼¶ÎÄÃ÷£¬¾ÍÊÇÓîÖæÎÄÃ÷µÄ×îµÍ¼¶£¬×î¸ßÖ»³ÊÏÖµ½¶þ¼¶ÎÄÃ÷ºãÐÇÎÄÃ÷¡£
¡¡¡¡Ò»¼¶ÓîÖæÎÄÃ÷ÓÖ±»³ÆÖ®Îª¡°ÐÐÐÇÎÄÃ÷¡±£¬¸ÃÎÄÃ÷ÓÐÄÜÁ¦¿ª²ÉºÍÀûÓÃËù´¦ÐÐÐÇÉϵļ¸ºõËùÓÐÄÜÔ´ºÍÄÜÁ¿£¬¸ÃÎÄÃ÷ÊǸÃÐÐÐǵľø¶Ô¡°Ö÷Ô×Õß¡±¡£
¡¡¡¡Õâ¸ö»®·Ö·¨£¬ÓеãÀàËÆÄ³¸ö¿ÆÑ§¼ÒËù˵µÄÆß¼¶ÎÄÃ÷»òÊ®¼¶ÎÄÃ÷¡£
¡¡¡¡°´ÕÕÕâ¸ö·Ö·¨£¬ÒÔĿǰµØÇòµÄÎÄÃ÷²ã´Î£¬Ï൱ÓÚ0¡£5£­0¡£7ÐÐÐÇÎÄÃ÷£¬ÀëÒ»¼¶ÎÄÃ÷»¹±È½ÏÔ¶£¬Èç°´Õý³£Çé¿ö£¬ãåÑô²»¸ÉÉæµÄ»°£¬ÖÁÉÙÐèÒª¼¸Ê®Äê·¢Õ¹¡£
¡¡¡¡Ñ§Ê¶·½Ã棬ãåÑôµÄ¸öÈËѧʶÒѾ­´ïµ½ÁËÒ»¼¶ÎÄÃ÷µÄ³õ¡¢Öм¶Ñ§Õßˮƽ¶øÒÑ¡£
¡¡¡¡Ñ§Ê¶´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷ˮƽ£¬²¢²»´ú±í¾ÍÄÜÖÆÔì³öÒ»¼¶ÎÄÃ÷µÄ¶«Î÷¡£
¡¡¡¡±ÈÈçÉϸöÊÀ¼ÍµÄ°®Òò˹̹£¬Ò²ÐíËûµÄѧʶºÜ¸ßÁË£¬µ«ËûҲûÓÐÄÜÁ¦ÖÆÔì³öµ±´úµÄÆû³µ¡£
¡¡¡¡Èç´ËÒ»Ï룬¸Ð¾õϵͳÕâ¸öÓîÖæÎÄÃ÷»®·Ö·¨ÓÖºÏÀíÁË¡£
¡¡¡¡»®·ÖÊÇÈç´Ë£¬µ«ãåÑô¾õµÃ£¬ËûÕâ±²×Ó£¬µØÇòÄܲ»ÄÜ´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷¶¼ÄÑ˵£¬Ö»ÄÜ˵£¬Î´À´¿ÉÆÚ¡£
¡¡¡¡¶øÑ§Ê¶µÈ¼¶£¬Ò»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ñ§Õߣ¬Ñ§Ê¶Ó¦¸Ã´ïµ½ÁËÖ°³Æ¸±½ÌÊÚ¡¢½ÌÊÚ²ã´Î£¬»òÕßÊÀ½çÒ»Á÷ר¼Ò¼¶±ð£¬µ«Õâ¸ö²¢²»¹Ø¼ü£¬¶øÊÇÕÆÎÕÁ˶àÉÙÇ°ÑØ¿Æ¼¼ÖªÊ¶¡£
¡¡¡¡Èç¹û½ö½öÊÇÊÀ½çÒ»Á÷ר¼Ò£¬µ«ÕÆÎÕµÄÊÇ´«Í³µÄ֪ʶ£¬µ«ÒÀÈ»´ï²»µ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ñ§Õßˮƽ¡£
¡¡¡¡ÖÁÓÚÕâÑù»®·Ö·¨ºÏÀí²»ºÏÀí£¬ãåÑô¾õµÃ»¹±È½ÏºÏÀíµÄ¡£
¡¡¡¡²¢²»ÊÇ˵һ¼¶ÎÄÃ÷ѧÕßÕÆÎյĺÍ֪ʶÁ¿¾Í±ÈÉÐδ´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷µÄר¼Ò¸üÔ¨²©£¬¶øÊÇÖ¸µÄÊÇÇ°ÑØÖªÊ¶£¬´¦ÓÚÒ»¼¶ÎÄÃ÷µÄ֪ʶÁ¿ÓжàÉÙ¡£
¡¡¡¡¾Í±ÈÈçãåÑôµÄѧʶ£¬³ýÁËÊýѧ£¬ãåÑô¾õµÃËûµÄ¼ÆËã»úÄÜÁ¦²¢²»±È»úе·½Ãæ²î£¬µ«ÔÚϵͳÅжÏʱ£¬¼ÆËã»úÖ»ÄÜÊdzõ¼¶¡£
¡¡¡¡ÕâÒ²ÊÇÒòΪ£¬ËûÕÆÎյıà³Ì·½·¨£¬ÒѾ­ÂäºóÁË£¬¿ÉÄÜÊÇËûµÄһЩÐÂʽËã·¨±È½ÏÏȽø£¬²Å´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ñ§Õß¡£
¡¡¡¡¶ø»úеһÀ࣬ÄÄÅÂÎÄÃ÷ÔÙÏȽø£¬ºÜÄÑ·¢Éú´óµÄ¸ïС£
¡¡¡¡Èç¹û²»ÊǽðÊô3DÔö²Ä¼¼Êõ²úÉúÖʵĸïУ¬ÐǺ£¼¯ÍÅĿǰµÄ»úеһÀ໹ÊÇ´«Í³»úе¡£
¡¡¡¡ãåÑôÆäËûѧ¿ÆÎ´´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷ˮƽ£¬Ò²ËµµÃ¹ýÈ¥ÁË¡£
¡¡¡¡µÚÁùµã£¬¶àÁË3¸ö¹¦ÄÜ£ºÊ¦Í½¹¦ÄÜ¡¢Öҳ϶ȱæ±ð¹¦ÄܺÍΣÏÕÔ¤¾¯¹¦ÄÜ¡£
¡¡¡¡¶øÇÒ£¬Ô­À´µÄ¡°³É¾ÍµãÉ̵ꡱ¸üÐÂΪ¡°ÏµÍ³É̵ꡱ£¬·ÖΪÆÕͨ»õ¼ÜºÍÌØÊâ»õ¼Ü¡£
¡¡¡¡ÆÕͨ»õ¼Ü´ó¶àÊÇÒ»¼¶ÎÄÃ÷ǰµÄ¼¼Êõ£¬»¹ÊÇ¿ÉÒÔͨ¹ý³É¾Íµã¹ºÂò£¬³É¾ÍµãµÄ»ñµÃ¸ú֮ǰδûÓÐÊ²Ã´Çø±ð¡£
¡¡¡¡¶øÌØÊâ»õ¼ÜµÄ»ñµÃ¾Í±È½ÏÄÑÁË£¬²»¿Éµ¥´¿µØÍ¨¹ý³É¾Íµã¹ºÂò»ñµÃ¡£
¡¡¡¡ãåÑô´ò¿ªÆÕͨ»õ¼Ü£¬ÊäÈë¡°¿É¿ØºË¾Û±ä¼¼Êõ¡±£¬²¢Î´ÕÒµ½Ïà¹Ø¼¼Êõ£¬ËµÃ÷Ïëµ¥´¿µØÍ¨¹ý³É¾Íµã¹ºÂò²»¿ÉÄÜÁË¡£
¡¡¡¡¶øÔÚÌØÊâ»õ¼ÜÀµÄÈ··¢ÏÖÁËÕâÒ»Ïî¼¼Êõ¡£
¡¡¡¡²»¹ý£¬ÒªÇóÕæ¶à£¬±ØÐëÒª´ïµ½Ä³Ð©Ö¸±ê²ÅÄܽâËø£¬¶ø²»ÊÇÖ±½Ó»ñµÃ¡£
¡¡¡¡¢ÙºË¾Û±ä¼¼ÊõºÍ»ù´¡ÉèÊ©£»
¡¡¡¡¢ÚÏà¹ØÒ»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ñ§Õß5ÈË£»
¡¡¡¡¢ÛËÞÖ÷Ïà¹ØÖªÊ¶´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷Öм¶Ñ§Õßˮƽ£»
¡¡¡¡¢ÜÔĶÁϵͳ´ïµ½8¼¶¡£
¡¡¡¡Õâ¾ÍÊÇ˵£¬ãåÑôÐèÒª´ÓÆÕͨ»õ¼ÜÀï»ýÀÛÒ»¼¶ÎÄÃ÷Öм¶Ñ§ÕßµÄ֪ʶ£¬½âËø»ù´¡¼¼Êõ¡£
¡¡¡¡¹âÔĶÁϵͳҪ´ïµ½8¼¶£¬¾Í²»ÊÇËûĿǰÏëÒªµÄ£»
¡¡¡¡¶øÇÒ£¬¾ÍËã´ïµ½ÁË8¼¶£¬Èç¹ûËûûÓк˾۱äÏà¹ØµÄ¼¼Êõ£¬²¢¾ß±¸Ïà¹Ø¼¼ÊõÈ˲Å5ÈË£¬Ò²ÊÇû·¨½âËø¡£
¡¡¡¡µ«²»¹ÜÔõôÑù£¬×ÜËã¿´µ½ÁËÏ£Íû¡£
¡¡¡¡ãåÑôÔÚÌØÊâ»õ¼ÜÀïÒ²ËÑË÷µ½ÁËÒ»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶ÓîÖæ·É´¬£¬ÄǸöÒªÇó¾Í¸ü¶àÁË£¬ÆäÖоÍÓÐÒªÇó¿É¿ØºË¾Û±ä¼¼Êõ¡£
¡¡¡¡µ«ÏëÉÏÌ죬Ïë·Éµ½ÔÂÇò£¬²¢²»ÊÇ˵һ¶¨ÒªÓÐÒ»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶ÓîÖæ·É´¬£¬ÔÚÆÕͨ»õ¼ÜÀÒѾ­¿ÉÒÔÂòµ½º½¿Õ·¢Éä»ð¼ý¡¢ÎÀÐÇ¡¢Ì«¿ÕÕ¾Ò»ÀàµÄ¼¼Êõ£¬Ã»ÓÐʲôÏÞÖÆÁË£¬Ö»Òª³É¾Íµã×ã¹»¾ÍÐС£
¡¡¡¡µ±È»£¬ÐèÒªµÄ³É¾ÍµãÒ²ÊDZȽ϶àµÄ¡£
¡¡¡¡ãåÑôÔÙËÑË÷Ôö¼ÓÊÙÃüºÍפÑÕÒ»ÀàµÄÒ½Ò©¼¼Êõ£¬·¢ÏÖÐèÒª½âËøÉúÎïÒ½Ò©Ò»À༼Êõ£¬Ïà¹ØÖªÊ¶´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷¸ß¼¶Ñ§Õߣ¬»¹Óи÷ÖÖ¿Á¿ÌµÄÒªÇ󣬻¹Óкܶà»ÒÉ«Îʺţ¬ËµÃ÷ËûûÓо߱¸×ʸñ¼ÌÐøÏÂÒ»²½²éѯ£¬±Ï¾¹ãåÑôÔÚÉúÎïÒ½Ò©Õâ·½ÃæÃ»ÓÐʲô·¢Õ¹£¬Ò²Ã»ÓÐ֪ʶ´¢±¸¡£
¡¡¡¡µ«²»¹ÜÔõôÑù£¬×ÜËã¿´µ½ÁËÏ£Íû¡£
¡¡¡¡ËûÏ£Íû¸¸Ä¸¼ÌÐø»îÏÂÈ¥£¬Ëû¸¸Ä¸ÒѾ­ËÄÊ®¼¸Ë꣬ãåÑôÏ£ÍûÄÜÔÚ20ÄêÄÚ»ñµÃÔö¼ÓÊÙÃüµÄÒ½Ò©¡£
¡¡¡¡Í¬Ê±£¬Èç¹û½øÐÐÓîÖæ·ÉÐУ¬ÊÙÃüÒ»ÀàµÄÒ©Îï¿Ï¶¨ÊÇÐèÒªµÄ¡£
¡¡¡¡Ä¿Ç°£¬ãåÑô¿ÉËÑË÷µ½µÄÌØÊâ»õÎï²¢²»¶à¡£
¡¡¡¡µ«²»¹ÜÔõôÑù£¬ÏµÍ³ÉÌµê¸øËû´øÀ´Á˺ܴóµÄ¾ªÏ²£¬±ÈÈçËûÐèÒªµÄÐ¾Æ¬ÖÆÔì¼¼Êõ£¬ÒѾ­¿ÉÒÔÈÆ¹ý´«Í³EUV»òDUV¹â¿Ì»ú£¬²»ÔÙµ£ÓǼ¼Êõ·âËøÎÊÌ⣻»¹Óдó·É»úµÄº½¿Õ·¢¶¯»ú¼¼Êõ£¬Ò²ÊÇ¿ÉÒÔÓóɾ͵ãÂòµ½ÁË¡£
¡¡¡¡Ê¦Í½¹¦ÄÜ£¬µ¹ÊÇ¿ÉÒÔ½â¾öÁ˶¥¼âÈ˲Ŵ¢±¸ÒªÇó¡£
¡¡¡¡Èç¹ûÖ»ÊǰÑ֪ʶ´«¸ø¹«Ë¾Ô±¹¤£¬ãåÑô¾õµÃËûÃǺÜÄÑ´ïµ½Ò»¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ñ§ÕßµÄˮƽ¡£
¡¡¡¡Ê¦Í½¹¦ÄÜ£¬Ä¿Ç°µÈ¼¶ÊÇLV1£º0/5£¨Ã¿Äê×Ô¶¯Ôö³¤5Ãû£¬LV1×î¶àÈÏ¿É10Ãû£©
¡¡¡¡Ä¿Ç°×î¶à¿ÉÒÔÈÏ¿É5ÃûµÜ×Ó¡£
¡¡¡¡ãåÑôÒ²¿ÉÒÔÕÐÊÕ¼¸Ê®¸öѧÉúÅàÑø£¬È»ºó·ÅÑòʽÈÃËûÃdzɳ¤¡£
¡¡¡¡µ«ÊÇ£¬ËûûÓÐÄÇô¶à¾«Á¦È¥¸¨ÖúÄÇô¶àѧÉú£¬ÁíÍ⣬²»ÊÇϵͳÈϿɵÄʦͽ¹ØÏµ£¬Ëûû·¨¸øµÜ×ÓÊäËÍѧϰ¾­Ñ飬ѧϰ¾Í´òÕÛÁË¡£
¡¡¡¡Õâ¸ö¾­ÑéµÄ×÷Óã¬Ö»ÄÜÊÇ´Ù½øµÜ×ÓÀí½âËû½²ÊÚµÄ֪ʶ£¬²¢²»ÄÜÏñËûÄÇÑù¿ÉÒÔÖ±½ÓÓÃÀ´ÌáÉý¼¼ÄÜ£¬¶øÇÒ¾­ÑéÖµÏûºÄËÙ¶ÈÊÇ10±¶¡£
¡¡¡¡Ò²¾ÍÊÇ˵£¬ÄÄÅÂÊÇʦͽ¹ØÏµ£¬Èç¹ûãåÑô²»¸¨ÖúѧÉú£¬¹â¿¿Ñ§Éú×ÔÖ÷ѧϰµÄ»°£¬³É³¤·Ç³£Âý¡£
¡¡¡¡²¢Ã»ÓÐʲôBUFF¹â»·£¬Ò²ÐíδÀ´Ê¦Í½¹¦Äܵȼ¶¸ßÁË»áÓУ¬µ«Ä¿Ç°²¢Ã»ÓÐʲôBUFF¹¦ÄÜ¡£
¡¡¡¡ÊÕʦͽ²¢²»ÊǺÜËæ±ã£¬ÒªÇóµÜ×ÓÄêÁä²»µÃ³¬¹ý20Ë꣬ÓÉÓÚÃû¶îÓÐÏÞ£¬ãåÑô¾ÍµÃºÃºÃ¹æ»®ÁË¡£
¡¡¡¡Ê¦Í½¹¦ÄÜ»¹¿ÉÒԲ鿴ÄêÁä20ËêÒÔÏÂÄêÇáÈ˵ÄÖÇÁ¦ºÍDZÁ¦Çé¿ö£¬·½±ãËûÊÕͽ¡£
¡¡¡¡Í¬Ê±£¬Ö»ÒªãåÑô³ÐÈ϶Է½ÊÇ×Ô¼ºµÜ×Ӻ󣬵Ü×Ó¶Ôʦ¸µµÄÖҳ϶Ⱥܿì´ïµ½90µãÒÔÉÏ£»
¡¡¡¡Öҳ϶È×î¸ßΪ100µã£¬90ÒѾ­ÊǷdz£À÷º¦ÁË¡£
¡¡¡¡ÆÕͨÈ˶ÔãåÑôµÄÖҳ϶ȣ¬¿ÉÄܾÍÊÇ30µ½60Ö®¼ä£»
¡¡¡¡¶øÖҳ϶ȵÍÓÚ30£¬ÒѾ­´æÔÚµÐÒ⣻
¡¡¡¡Öҳ϶ÈÔÚ10ÒÔÏ£¬ºÞ²»µÃãåÑôÈ¥ËÀ£¬ÉõÖÁÏëɱº¦ãåÑô¡£
¡¡¡¡Èç¹ûãåÑô×Ô¶¯½â³ýʦͽ¹ØÏµ£¬Í½µÜ´ÓãåÑôѧµ½µÄ֪ʶ£¬Ëæ×Åʱ¼äµÄÍÆÒÆ£¬¿ÉÄÜÒ»Á½Äêʱ¼äÄھͻáĪÃûÆäÃîµØÒÅÍü¡£ÄÄżǼÏÂÀ´ÁË£¬ÔÙ´ÎѧϰҲ²»ÊÇÄÇôºÃÀí½âµÄ¡£
¡¡¡¡Õâ¸öÖҳ϶ȹ¦ÄܾÍÓеã±ä̬ÁË£¬´Ó´ËÒÔºó£¬ãåÑôÒ²²»Óõ£ÓÇͽµÜ±³ÅÑ×Ô¼º£¬¿ÉÒÔ·ÅÐĵؽ̵¼ËûÃÇÇ°ÑØ¿Æ¼¼ÖªÊ¶¡£
¡¡¡¡¼ÈȻҪÇóÄêÁäµÍÓÚ20ËêÒÔϲÅÄܱ»ÊÕΪͽµÜ£¬ÄÇãåÑô´òËã´Ó¸ß¿¼Éú¼Óá£
¡¡¡¡Ëû¿ÉÒԵȸ߿¼¹ýºó£¬·ÖÊý³öÀ´ÁË£¬ÃæÏòÈ«¹ú¸÷Ê¡¸ß¿¼³É¼¨Ç°ÁнøÐй۲죬ÕÒµ½ËûÂúÒâµÄͽµÜ£¬Í¬Ê±Ò²²»Ó°ÏìѧÉú±¨¿¼¸ßУ¡£
¡¡¡¡Èç¹û±»ãåÑô¼Óã¬Ö»ºÃתµ½½­Õã´óѧѧϰ¡£
¡¡¡¡¿ÉÒÔ˵£¬Ö»Òª³ÉΪËûµÄͽµÜ£¬²»ÓÃÔÙ³îÇ®·½ÃæµÄÊÂÁË¡£
¡¡¡¡µÚÈý¸ö¹¦ÄÜ£¬Öҳ϶ȱæ±ð¹¦ÄÜ¡£
¡¡¡¡Õâ¸öÒ²ÊǷdz£µØÅ£±È£¬²»ÐèÒª»¨Ê²Ã´Ç®ºÍ³É¾Íµã£¬¿ÉÒÔʶ±ðËûÈ˶Ô×Ô¼ºµÄÖҳ϶ȡ£
¡¡¡¡ãåÑô»¹Ã»ÓÐÈ¥²âÊÔ£¬µ«ËûÏàÐſ϶¨ÓÐÒ»¶¨µÄÏÞÖÆ£¬²»»áÈÃËûËæÒâµØÊ¹Óá£
¡¡¡¡µ½µ×ÈçºÎ²âÊÔ£¬Í¨¹ýʲô²âÊÔ£¬ãåÑôÒ²ÊǸ㲻Çå³þÔ­Àí£¬ÄѵÀϵͳ¿ÉÒÔ̽²âËûÈ˶Ô×Ô¼ºµÄÐÄÀí²¨¶¯»òÄԵ粨£¿»òÕßͨ¹ý΢±íÇé½øÐзÖÎö£¿
¡¡¡¡Èç¹ûÊÇ¿¿ÒÔÉÏ·½·¨£¬ºÃÏñ»¹ÓÐЩ¿ÆÑ§¡£
¡¡¡¡²»¹ý£¬ÓÐЩ¶«Î÷£¬¿´ÉÏÈ¥²»¿ÆÑ§£¬µ«Ë­ÓÖÄܽâÊ͵ÃÇå³þÄØ£¬¾Í±ÈÈçÕâ¸öÔĶÁϵͳ¡£
¡¡¡¡Õâ¸ö¹¦ÄܶÔãåÑôÀ´Ëµ£¬×÷ÓÃÒ²ÊǷdz£´ó£¬Ëû¿ÉÒÔ̽²â¹«Ë¾¹ÜÀí²ã¶ÔËûµÄÖҳ϶ȣ¬²»±ØÔÙµ£ÓÇ̰ÎÛÖ®ÀàµÄÊÂÔÙ·¢Éú¡£
¡¡¡¡µÚËĸö¹¦ÄÜÊDZ»¶¯¹¦ÄÜ£ºÎ£ÏÕÔ¤¾¯¹¦ÄÜ¡£
¡¡¡¡ãåÑôûÓз¢ÏÖÓнâÊÍ£¬Ò²Ðíµ±Ëû´¥·¢»ò¼´½«Óöµ½Î£ÏÕµÄʱºò²Å»áÓÐϵͳÌáÐÑ¡£
¡¡¡¡¾ÍÊDz»ÖªµÀ£¬Ö»ÊÇÌáÐÑÓÐΣÏÕ£¬Äܲ»ÄÜÖ¸ÒýΣÏÕÐźÅÔÚÄÄÀÕⶼûÓÐ˵Ã÷¡£
¡¡¡¡ãåÑôÏ£Íû£¬ËûÕâ±²×Ó¶¼Óò»ÉÏ¡£
¡¡¡¡½çÃæµÄ×îºóÒ»ÐÐ×Ö£¬ÔĶÁϵͳÉýµ½8¼¶µÄÒªÇó¡£
¡¡¡¡ãåÑô´ò¿ªÏêÇ飬¿´µ½ÈýÐÐ×Ö£º
¡¡¡¡1£©Ò»×ùСÐÍÖÇÄܳÇÊУ¨ÏêϸҪÇ󣩣»
¡¡¡¡2£©10¸öµÜ×ӳƺŴﵽһ¼¶ÎÄÃ÷³õ¼¶Ë®Æ½£»
¡¡¡¡3£©£¿£¿£¿£¨»ÒÉ«£©
¡¡¡¡Ôٴε㿪µÚÒ»¸öÒªÇóµÄÏêϸҪÇ󣬷¢ÏÖÒªÇóͦ¶àµÄ£¬Õâ¸öÖÇÄܳÇÊв»ÄÜËæ±ã½¨Á¢£¬ÒªÇóÊÇÉÐ먦·¢ÈËÀà¾ÓסµÄÍÁµØ£¬±ÈÈ罨Á¢ÔÚɳĮÉÏ¡¢µºÓìÉÏ¡£
¡¡¡¡¶ÔÈË¿ÚÊýÁ¿Ò²ÓÐÒªÇ󣬶øÇÒ¾ÓסÈ˿ڵÄÎÄ»¯²ã´ÎÒ²ÓÐÒªÇó£¬ÔٴξÍÊdzÇÊеÄÖÇÄܶȣ¬ÒªÇóÒ²¶à£¬±ÈÈ罻ͨ¡¢»·¾³¡¢ÎïÁ÷µÈµÈ¡£
¡¡¡¡±¾À´£¬ãåÑô´òËã·¢Õ¹º½¿Õ£¬¿Ï¶¨µÃÕÒһƬ¿Õ¿õµÄµØ·½·¢Õ¹£¬²»¿ÉÄÜ·ÅÔÚH³Ç¡£
¡¡¡¡µÚ¶þ¸öÒªÇ󣬻¹ºÃÀí½â£¬¾ß±¸Ê¦Í½¹¦ÄÜ£¬ãåÑô¸Ð¾õÄѶÈСÁËһЩ¡£
¡¡¡¡µÚÈý¸öÒªÇ󣬻¹ÊÇһƬ»ÒÉ«£¬Ò²²é²»µ½Ïà¹ØµÄÒªÇó¡£
¡¡¡¡´ÓÖпÉÒÔ¿´³öÀ´£¬ãåÑôÏë´Ó7¼¶Éýµ½8¼¶£¬ÄѶÈÏ൱µØ´ó£¬ÎåÄêÖ®ÄÚ£¬ÄDz»¿ÉÄÜÁË¡£
¡¡¡¡×ÛºÏÀ´¿´£¬7¼¶ÔĶÁϵͳ¸úÒÔǰ±ä»¯·Ç³£´ó£¬¸úÇ®ÒѾ­¹ØÏµ²»´óÁË£¬¸ü¶àµÄÒªÇóÊÇÒýÁìÈ«Çò¿Æ¼¼·¢Õ¹·½Ã棬ÍêÈ«ÊÇеĿªÊ¼¡£
¡¡¡¡ÕâÑùµÄпªÊ¼£¬ãåÑô¸Ð¾õµ½¼¤ÇéÅìÅÈ£¬¶ÔδÀ´³äÂúÁËÆÚ´ý¡£


µÚËİÙÈýÊ®°ËÕ¡¡¹â¿Ì»úÏîÄ¿£ºÁí±Ùõè¾¶
¡¡¡¡ãåÑôÑо¿¸üкóµÄÔĶÁϵͳÁ½¸ö¶àСʱ²ÅÑо¿Í¸£¬Ð˷ܵÃ˯²»×Å¡£
¡¡¡¡ºÈÁËÒ»±­²è£¬ËûÏë¿´¿´Ð¾Æ¬ÖÆÔì¼¼ÊõµÄºËÐÄÉ豸£º¹â¿Ì»ú¡£
¡¡¡¡Ä¿Ç°Êг¡ÉÏ£¬ÓÐÁ½ÖÖÖ÷Á÷¹â¿Ì»ú£¬Ò»¸öÊÇDUV¹â¿Ì»ú£¬ÁíÒ»¸öÊÇEUV¹â¿Ì»ú¡£
¡¡¡¡DUVÊÇÉî×ÏÍâÏߣ¨Deep¡¡Ultraviolet¡¡Lithography£©£¬EUVÊǼ«Éî×ÏÍâÏߣ¨Extreme¡¡Ultraviolet¡¡Lithography£©¡£
¡¡¡¡´ÓÖÆ³Ì·¶Î§À´¿´£¬DUV»ù±¾ÉÏÖ»ÄÜ×öµ½25nm£¬Intelƾ½èË«¹¤×÷̨µÄģʽ×öµ½ÁË10nm£¬µ«ÊÇÈ´ÎÞ·¨´ïµ½10nmÒÔÏ¡£
¡¡¡¡Ö»ÓÐEUVÄÜÂú×ã10nmÒÔϵľ§Ô²ÖÆÔ죬²¢ÇÒ»¹¿ÉÒÔÏò5nm¡¢3nm¼ÌÐøÑÓÉì¡£
¡¡¡¡Õâ¸öÏß¿íÆäʵ¾ÍÊǸú¹âµÄÏß¿íÓйØÏµ£¬±ÈÈç¿É¼û¹âµÄGÏߣ¬ÄǾÍÊÇ436nm£¬Èç¹ûÓÃÀ´¿ÌÊ´£¬Ïß·¿Ï¶¨ºÜ¿í¡£
¡¡¡¡¿ÉÒÔ¼òµ¥µØÈÏΪ£¬¹â¿Ì»úµÄ¹âϵͳÆäʵ¾ÍÊÇÒ»Ö§»­±Ê£¬²»Í¬µÄ¹â´ú±í²»Í¬´Öϸ´óСµÄ±Êо£¬Ô½Ï¸µÄ±Ê£¨¹â£©Äܹ»»­Ô½Ï¸Ô½¸´ÔӵĻ­¡£
¡¡¡¡DUV¾ÍÊDzʱʣ¬EUV¾ÍÊÇÖÐÐԱʣ¬ÖÐÐԱʻ­µÄÏßÌõ±È½Ïϸ£¬±È½ÏºÃÓá£
¡¡¡¡ÕâôÀí½â£¬Ò²ºÃÀí½â¹â¿Ì»úµ½µ×ÈçºÎ¿ÌÊ´µç·ͼÁË¡£
¡¡¡¡µ±Ç°£¬¹úÍâÆ·ÅÆ¹â¿Ì»úÖ÷ÒªÒÔºÉÀ¶ASML£¬µº¹úNikonºÍCanonÈý´óÆ·ÅÆÎªÖ÷¡£
¡¡¡¡EUVµÄ¼Û¸ñÊÇ1£­3ÒÚÃÀ½ð/̨£¬DUVµÄ¼Û¸ñΪ2000Íò£­5000ÍòÃÀ½ð/̨²»µÈ¡£
¡¡¡¡Ä¿Ç°ÏȽøµÄ¹â¿Ìϵͳ¾ÍÊÇEUV¹â¿Ì»ú£¬Èç¹ûãåÑô´òËã×ßEUV¹â¿Ì»ú·Ïߣ¬±ØÈ»ÈƲ»¿ª±ðÈ˵ļ¼ÊõרÀû±£»¤·¶Î§¡£
¡¡¡¡Òò´Ë£¬ËûÖ»ÄÜѰÕÒÁíÍâ¹âÖֵĹâ¿Ì»ú£¬Í¬Ê±Òª¿¼Âǵ½¹âµÄ·Ö±æÂÊ¡¢¶Ô×¼¾«¶È¡¢ÆØ¹â·½Ê½¡¢¹âÔ´²¨³¤¡¢¹âÇ¿¾ùÔÈÐÔ¡¢Éú²úЧÂʵÈÖ¸±ê¡£
¡¡¡¡¾Í˵·Ö±æÂÊ£¬Èç¹ûÖÆ×÷³öÀ´µÄµç·ͼģºý²»Ç壬ÄÇоƬ¿Ï¶¨²»ºÃ¡£
¡¡¡¡¹â¿Ì»úÆäËüµÄÖ¸±ê£¬Ò²¿ÉÒÔ±ÈÓ÷³É»­±ÊµÄÐÔÄܾÍÐÐÁË¡£
¡¡¡¡²¢²»ÊÇ˵£¬ãåÑô²»Äܸã¹â¿Ì»úÁË£¬Ö»ÊÇ˵£¬ÔÙ¸ãDUVºÍEUV¹â¿Ì»ú£¬ÈƲ»¿ªÒÔÉÏÈý¼ÒÆóÒµµÄ¼¼ÊõרÀû±£»¤·¶Î§¡£
¡¡¡¡ËùÒÔ£¬ËûÖ»ÄÜÁí±Ùõè¾¶¡£
¡¡¡¡ºÜ¾Ã֮ǰ£¬ãåÑô¾ÍÏëµ½¹ýµç×ÓÊø¹â¿Ì»ú¡£
¡¡¡¡Ô­±¾£¬ÔÙ¹ý¼¸Ä꣬ƯÁÁ¹úµÄÒ»¸öʵÑéÊÒÑз¢³öÒ»Ì×ÃûΪZyvexLitho1µÄ¹â¿Ìϵͳ£¬»ùÓÚSTMɨÃèËíµÀÏÔ΢¾µ£¬Ê¹ÓõÄÊÇEBL£¨E£­Beam¡¡Lithography£©µç×ÓÊø¹â¿Ì·½Ê½£¬ÖÆÔì³öÁË0¡£7nmÏß¿íµÄоƬ£¬Ö»ÊÇû·¨ÊµÏÖÅúÁ¿Éú²ú£¬»òÕ߳ɱ¾¸ß¹ý¡£
¡¡¡¡ãåÑôÏàÐÅ£¬Èç¹ûÊǼ¼Êõ³ÉÊìµÄµç×ÓÊø¹â¿Ì»ú£¬Ïß¿í±È0¡£7nm¸üС¡£
¡¡¡¡ËûÔÚϵͳÉ̵êÆÕͨ»õ¼ÜÉÏĬÄîËÑË÷¡°µç×ÓÊø¹â¿Ì»ú¡±£¬ºÜ¿ì£¬ËÑË÷³ö¼¸¿îÏà¹Ø¼¼Êõ¡£
¡¡¡¡ãåÑôÑ¡ÔñÊʺÏ×Ô¼º¹«Ë¾µÄÒ»¿î¼¼Êõ£ºEBL01
¡¡¡¡¼¼Êõ²ÎÊý£º
¡¡¡¡1¡£×îСÏß¿í£ºÐ¡ÓÚ1nm
¡¡¡¡2¡£¼ÓËÙµçѹ£º5£­500kV
¡¡¡¡3¡£µç×ÓÊøÖ±¾¶£ºÐ¡ÓÚ0¡£5nm
¡¡¡¡4¡£Ì׿̾«¶È£º1nm£¨mean£«0¡£2¦Ò£©
¡¡¡¡5¡£Æ´½Ó¾«¶È£º1nm£¨mean£«0¡£2¦Ò£©
¡¡¡¡6¡£¼Ó¹¤¾§Ô²³ß´ç£º4£­18Ó¢´ç
¡¡¡¡7¡£Ãèµç¾µ·Ö±æÂÊ£ºÐ¡ÓÚ0¡£2nm
¡¡¡¡Ö÷ÒªÌØµã£º
¡¡¡¡1¡£²ÉÓó¬¸ßÁÁ¶ÈºÍ³¬¸ßÎȶ¨ÐÔµÄTFEµç×Óǹ£»
¡¡¡¡2¡£³öÉ«µÄµç×ÓÊøÆ«×ª¿ØÖƼ¼Êõ£»
¡¡¡¡3¡£²ÉÓó¡³ß´çµ÷ÖÆ¼¼Êõ£¬µç×ÓÊø¶¨Î»·Ö±æÂʿɴï0¡£0002nm£»
¡¡¡¡4¡£²ÉÓÃÖá¶Ô³ÆÍ¼ÐÎÊéд¼¼Êõ£¬Í¼ÐÎÆ«½Ç·Ö±æÂʿɴï0¡£002mrad£»
¡¡¡¡5¡£Ó¦ÓÃÁìÓò¹ã·º£¬Èç΢ÄÉÆ÷¼þ¼Ó¹¤£¬Ñо¿ÓÃÑÚĤ֯Ô죬ÄÉÃ×¼Ó¹¤£¨ÀýÈçµ¥µç×ÓÆ÷¼þ¡¢Á¿×ÓÆ÷¼þÖÆ×÷µÈ£©£¬¸ßƵµç×ÓÆ÷¼þÖеĻìºÏ¹â¿Ì£¬Í¼ÐÎÏß¿íºÍͼÐÎÎ»ÒÆ²âÁ¿µÈ¡£
¡¡¡¡¡­¡­
¡¡¡¡ÐèÒª³É¾Íµã£º300µã£¡
¡¡¡¡¡­¡­
¡¡¡¡ãåÑô´ó¸Å¿´ÁËϼò½é£¬¹â´Ó¼¼Êõ²ÎÊýÉϾͿ´³öËüµÄÏȽøÐÔ¡£
¡¡¡¡»¹Óиü¼ÓÏȽøµÄ¹â¿Ì»ú£¬µ«ÊÇ£¬ÒÔÐǺ£¼¯ÍÅĿǰµÄÌõ¼þ£¬ÂòÁËÒ²Ôì²»³öÀ´£¬¶øÇÒÐèÒªµÄ³É¾Íµã·Ç³£¶à¡£
¡¡¡¡Õâ¸öEBL01ºÅ³Æ¿ÉÒÔÖÆÔì1nmÒÔϵÄоƬ£¬µ«Á¿²ú³É±¾»á±È½Ï¸ß¡£
¡¡¡¡Òò´Ë£¬µ±Ç°µÄÇé¿ö£¬ÐǺ£¼¯ÍÅ¿ÉÒÔ´Ó7nmоƬ¹¤ÒÕ¿ªÊ¼£¬¿ÉÒÔ±£Ö¤ÔÚ2018Äê֮ǰ±£³ÖÔÚÊÀ½çµÚÒ»µØÎ»¡£
¡¡¡¡µÈ¾ºÕù¶ÔÊÖ¿ÉÒÔÅúÁ¿¸ã7nmоƬÁË£¬ÐǺ£¼¯ÍÅÔÙÍÆ³ö5nm»ò3nmоƬ¡£
¡¡¡¡ÓÐЩÉ豸ӦÓã¬Ò²Óò»×ÅÕâô¸ß¶ËµÄоƬ£¬28nmоƬ¹¤ÒÕ×ã¹»£¬Ò²ÊÇδÀ´Ê®ÄêÄÚµÄÖ÷Á÷¡£
¡¡¡¡Ö»ÊÇ˵£¬ãåÑô²»´òËãÍæÊ²Ã´ÖеͶËоƬ¡£
¡¡¡¡ÁíÍ⣬ãåÑô´òËãŪһЩСÓÚ1nmµÄоƬ£¬ÓÃÓÚÖÆÔìÁ¿×Ó¼ÆËã»úºÍ³¬Ë㣬ÕâÀàоƬËû´òËã×ÔÓá£
¡¡¡¡½ÓÏÂÀ´£¬ãåÑôÈ·ÈϹºÂòEBL01¼¼Êõ¡£
¡¡¡¡Ê®¼¸·ÖÖÓºó£¬ãåÑô°ÑEBL01¼¼ÊõÎüÊÕÍê±Ï¡£
¡¡¡¡Ëû¸Ð¾õ×Ô¼º¶Ô¹â¿Ì»úÓÐÁ˸üÉîÈëµÄÁ˽⣬Èç½ñ¾ÍÊÇʵʵÔÚÔÚµÄÐ¾Æ¬ÖÆÔì¶¥¼âר¼Ò¡£
¡¡¡¡ÂòÁ˹â¿Ì»úµÄ¼¼Êõ£¬ãåÑô»¹µÃ¹ºÂòоƬÉè¼Æ¼¼Êõ¡¢Ð¾Æ¬Éè¼ÆÏà¹ØÈí¼þºÍÏà¹ØÉ豸¡£
¡¡¡¡Õâ¸öоƬÉè¼ÆÈí¼þ£¬Ëû¾Í²»´òËã×Ô¼ºÑз¢ÁË£¬ËûÔÚоƬÈí¼þÉè¼ÆÕâÒ»¿éÊÇÈõµã£¬¿¿×Ô¼ºÑо¿²»ÖªµÀµÃ»¨¶à³¤Ê±¼ä¡£
¡¡¡¡¶øÇÒ£¬Ä¿Ç°¹«Ë¾ÐÎÊÆÑϾþ£¬Ò»µ©Æ¯ÁÁ¹úÖªµÀ×Ô¼º¹«Ë¾ÔÚ¸ãоƬÁË£
СÌáʾ£º°´ »Ø³µ [Enter] ¼ü ·µ»ØÊéÄ¿£¬°´ ¡û ¼ü ·µ»ØÉÏÒ»Ò³£¬ °´ ¡ú ¼ü ½øÈëÏÂÒ»Ò³¡£ ÔÞһϠÌí¼ÓÊéÇ©¼ÓÈëÊé¼Ü